Vakum Kaplama

TT-DSR1 masa SEM cümle modeli, iletken olmayan veya kötü iletken numunelerde altın (AU), palladyum (PD), platin (PD) ve altın/palladyum (AU/PD) gibi asil metalleri kaplayabilen kompakt bir kaplama sistemidir. İnce tane boyutlarına sahip düzgün ince filmler hızlı bir döngü süresinde oluşur. Üretilen ince film, elektron mikroskopisi (SEM) analizi taraması için uygundur.

Masa Magnetron Püskürtme Kumanı (DSR1), tam otomatik sistemde tutarlı ve son derece tekrarlanabilir sonuçlar veren yüksek bir üretkenlik aracıdır. Ergonomik tasarımı ve DSR1 SEM kaplama sisteminin küçük ayak izi, sistemin kolay kullanılmasına izin verir.

SEM numune hazırlama sisteminin modüler olan TT-DSR1, bir püskürtme kapağı ve bir cihazda değiştirilebilir kafalarla karbon birleştiricisi (iplik) olarak yapılandırılmıştır. Asil metal püskürtme kaplama ve buharlaşma kaplaması için uygun bir vakum aralığı olan 50MTorr'dan daha az vakum elde etmek için bir döner pompa ile donatılmış bir tarama elektron mikroskobu (SEM) numune hazırlama sistemidir.

İki aşamalı, doğrudan tahrik 4m3/s, döner kanat pompası
Yüksek Hassas Kuvars Kristal Kalınlık Monitörü
Kaplama işlemini ve hızlı veri girişini kontrol etmek için sezgisel dokunmatik ekran
Ağ üzerinden güncellenebilen kullanıcı dostu yazılım
Daha ince tahıl yapıları elde etmek için kontrol kaplama oranı
Manuel veya otomatik zamanlanmış ve kalınlıkta püskürtme
Çekimi kolay numune aşamaları (standart olarak dönme aşaması)